真空扩散泵油优化半导体制造工艺--安徽艾约塔硅油有限公司

真空扩散泵油优化半导体制造工艺

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在半导体芯片制造中，真空系统的稳定性直接影响产品质量。高纯度真空扩散泵油凭借低蒸气压、优异的热稳定性和抗氧化性能，确保真空环境的洁净与稳定，减少泵体内碳化物生成，延长设备使用周期。这类泵油已广泛应用于芯片蚀刻、镀膜和离子注入等工序，为半导体产业的高精度生产提供了重要保障。