阅读量:381 img
在集成电路与显示面板制造领域,真空环境对产品质量至关重要。IOTA真空扩散泵油以其低蒸气压、高热稳定性与优异的抽速性能,助力客户打造更洁净、高效的真空系统。
该泵油由高纯度苯基硅氧烷组成,具有极低的挥发性和热分解倾向,在250℃以上依然保持稳定状态,极大减少返油与污染问题。在等离子蚀刻、真空镀膜等关键环节中,保障了系统真空度与工艺稳定性。
IOTA真空扩散泵油广泛适用于OLED生产线、半导体蚀刻设备以及科研真空实验平台,是实现高纯度真空环境与长周期设备维护的理想选择。