随着半导体制造技术迈入7纳米甚至更先进节点，对真空系统洁净度与稳定性的要求不断提高。真空扩散泵油作为扩散泵的关键工作介质，其性能直接关系到工艺良率与设备运行效率。

高纯度苯基硅氧烷结构的扩散泵油具备低蒸汽压（低至10⁻⁸ Torr）、高热稳定性及低反应性，能有效避免晶圆污染和泵口回流现象，广泛用于PVD、CVD、电子束焊接等精密工艺流程中。

目前主流泵油产品已实现多级精馏净化，去除杂质金属离子与挥发物，配合高真空密封结构，提高系统稳定运行时间，降低维护频率，为芯片制造工艺提供稳定支撑。