在半导体制造、航天实验设备、冶金真空处理和高能物理实验等领域，稳定、可靠的高真空环境是系统正常运行的前提。而真空扩散泵油作为扩散泵核心工作介质，其性能直接决定整个真空系统的极限压力、运行效率和设备寿命。

基于有机硅聚合物的真空扩散泵油具有高热稳定性、低蒸气压和抗氧化性能优异等特点。在高温下长时间工作不易裂解、碳化，可有效延长扩散泵换油周期，降低维护频率。其极低的挥发性使其在工作过程中减少返油现象，保持真空系统的清洁度，避免污染敏感部件如电子束源、光学组件、芯片载盘等。

该类硅油适用于需要达到10⁻⁶～10⁻⁸ Torr 超高真空环境的扩散泵系统，并兼容多数金属泵体与密封材料。广泛应用于半导体工艺设备（如PVD、CVD）、太阳能电池生产线、真空镀膜系统、科研级粒子加速装置与高压电力真空检测设备中。

为适应更严苛的工况，部分高端真空扩散泵油还实现了分子量控制与粘度梯度优化，具备更强的热氧稳定性与抗分解能力。随着真空技术对极限压力、洁净度和耐用性提出更高要求，硅基扩散泵油正不断升级，助力高端装备在关键工况下稳定运行。