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在芯片制造及真空镀膜等高精密工业领域,真空环境的质量直接影响产品的成品率与一致性。真空扩散泵油作为核心介质,其性能对真空系统稳定性至关重要。
我司提供的高纯度苯基硅基扩散泵油,具有低蒸气压、高热稳定性及优良的耐氧化性,广泛应用于等离子蚀刻、离子注入、磁控溅射等关键工艺流程,有效延长设备运行时间并提升系统抽气效率。
随着半导体制程节点日益缩小,对真空系统的可靠性提出更高要求,优质的真空扩散泵油已成为晶圆制造背后的隐形支撑。
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